1月30日，在德州職業(yè)技術(shù)學(xué)院集成電路制造工藝實踐中心，光刻機(jī)將設(shè)計好的電路圖形“雕刻”到硅片上。“這是光刻環(huán)節(jié)，是決定芯片功能的關(guān)鍵一步。”德州職業(yè)技術(shù)學(xué)院教師趙寧寧介紹。

近年來，我市將集成電路產(chǎn)業(yè)作為“一號產(chǎn)業(yè)”全力打造，德州職業(yè)技術(shù)學(xué)院2021年設(shè)立集成電路專業(yè)，2025年成立集成電路產(chǎn)業(yè)學(xué)院。但因設(shè)備、場地等原因所限，難以提供覆蓋芯片制造全鏈條的真實實訓(xùn)場景。

為破解這一難題，今年1月份，該院建設(shè)的集成電路制造工藝實踐中心投用，建成一條涵蓋薄膜制備、光刻圖形化、刻蝕、清洗去膠、封裝鍵合、功能測試六大模塊的“教學(xué)型”芯片制造流程線，實現(xiàn)從一枚裸硅片起步，到最終制作出具備特定功能、可實際測試的集成電路芯片，其制作工藝精度可達(dá)3微米。據(jù)了解，該中心是我國北方地區(qū)職業(yè)院校中首個實現(xiàn)從“硅片”到“芯片”全流程制造的實踐教學(xué)平臺。

此外，該平臺不僅將企業(yè)初級工藝培訓(xùn)前置到校園，實現(xiàn)學(xué)生畢業(yè)即上崗，還為本地中小微科技企業(yè)及創(chuàng)新團(tuán)隊提供小批量流片、工藝試驗和原型驗證服務(wù)，進(jìn)一步延展德州市集成電路產(chǎn)業(yè)鏈。

“為用好實踐中心，學(xué)校將通過課程改革、教材開發(fā)、師資鍛煉、‘崗課賽證’融通等方式，進(jìn)一步提升教學(xué)水平，推動集成電路專業(yè)實現(xiàn)快速發(fā)展。”德州職業(yè)技術(shù)學(xué)院黨委委員、副院長梁強(qiáng)說。

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記者|王露 通訊員|李金甫
編輯|王露
審核|王育恒 終審|李玉梅